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1.產品簡介描述
高純度無雜質PPS板材(15-20mm),專為半導體設備設計,核心具備耐刮擦特性,適配半導體行業高潔凈、高精度需求

2.產品基礎信息
本品為15-20mm厚度高純度無雜質PPS板材,采用電子級原生PPS樹脂制成,純度≥99.9%,無金屬雜質(鐵、銅、鎳含量≤1ppm)。板材表面光潔度Ra≤0.4μm,平整度誤差≤0.1mm/m,滿足半導體設備基礎要求

3.核心性能優勢
核心優勢為高純度無雜質與耐刮擦,表面硬度達邵氏D88,經500次耐磨測試(負載500g)后無明顯劃痕,雜質析出量≤0.001mg/cm2:
(1)保障潔凈環境:無雜質脫落,避免污染半導體晶圓,維持設備內部潔凈度;
(2)抗刮擦損傷:日常操作或部件接觸時不易產生劃痕,減少因表面損傷導致的設備維護;
(3)適配精密裝配:高純度材質化學穩定性強,不與半導體工藝試劑反應,保障設備運行安全

4.適用場景
主要適配半導體設備場景:
(1)半導體設備內部隔板:如晶圓傳輸腔體內隔板,高純度耐刮擦適配潔凈傳輸環境;
(2)半導體檢測設備載臺:如晶圓檢測載臺面板,耐刮擦保障檢測過程中表面平整;
(3)半導體封裝設備部件:如封裝模具襯板,高純度無雜質避免影響封裝質量

5.采購與服務保障
提供材質純度檢測報告與耐刮擦測試數據;15-20mm常規厚度現貨供應,下單后48小時內發貨;收貨后15天內可復檢純度與外觀,非人為問題支持退換